sibsutisВестник СибГУТИThe Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Information Science1998-6920СибГУТИsibsutis-692Research ArticleСтатьиВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ:
СТРАТЕГИЯ УСПЕХА - АВТОМАТИЗАЦИЯКлисторинИ. Ф.noemail@neicon.ruЗюбинВ. Е.noemail@neicon.ruЛубковА. А.noemail@neicon.ruИнститут автоматики и электрометрии СО РАНRussian Federation200706022023013539Copyright © Клисторин И.Ф., Зюбин В.Е., Лубков А.А., 20232023Клисторин И.Ф., Зюбин В.Е., Лубков А.А.Клисторин И.Ф., Зюбин В.Е., Лубков А.А.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://vestnik.sibsutis.ru/jour/article/view/692ReferencesЗюбин В.Е. Создание управляющих алгоритмов для сложных технологических процессов // Автоматизация и современные технологии, 2004, №8. С.27-31Зюбин В.Е. Создание управляющих алгоритмов для сложных технологических процессов // Автоматизация и современные технологии, 2004, №8. С.27-31Лодиз Р., Паркер Р. Рост монокристаллов. М.: Мир, 1974.Лодиз Р., Паркер Р. Рост монокристаллов. М.: Мир, 1974.Зюбин В. Е., Клисторин И. Ф., Лубков А. А. Архитектура системы управления установкой для выращивания монокристаллов кремния // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия «Технические науки». № 33. 2005. С.43-47.Зюбин В. Е., Клисторин И. Ф., Лубков А. А. Архитектура системы управления установкой для выращивания монокристаллов кремния // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия «Технические науки». № 33. 2005. С.43-47.Бевзов А.Н., Курочкин А.В., Окунишников С.В. Программное обеспечение оператора установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 27-29.Бевзов А.Н., Курочкин А.В., Окунишников С.В. Программное обеспечение оператора установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 27-29.Бевзов А.Н. Применение паттернов проектирования при создании автоматизированной установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 22-24.Бевзов А.Н. Применение паттернов проектирования при создании автоматизированной установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 22-24.Язык Рефлекс. Информационный портал // Reflex group, 2006 [http://reflexlanguage. narod.ru]Язык Рефлекс. Информационный портал // Reflex group, 2006 [http://reflexlanguage. narod.ru]
The authors declare that there are no conflicts of interest present.