Комбинированная методика двумерного моделирования технологии и электрофизических параметров МОП-транзисторов
Аннотация
В данной работе была предложена новая комбинированная методика калибровки параметров двумерных технологических и электрофизических моделей пакета приборнотехнологического моделирования «MicroTec-3.02». Такая калибровка осуществляется на основе высокоточных одномерных профилей легирования в канале и исток-стоках МОП-транзисторов, рассчитанных ППП «ФАКТ», и реально измеренных вольт-амперных характеристиках исследуемых приборов.
Об авторах
Алексей Сергеевич ЧеркаевРоссия
Сергей Васильевич Калинин
СибГУТИ
Россия
Россия
Евгений Афанасьевич Макаров
НГТУ
Россия
Россия
Список литературы
1. МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов; Под ред. П. Антонетти, Д. Антониадиса, Р. Датто-на, У. Оулдхема; М.: Радио и связь, 1988 г
2. http://www.synopsys.com
3. ППП «ФАКТ» - РИ ЛАРС 01.02.08-00 ФГУП «НПП «Восток».
4. http://www.siborg.ca
5. Obrecht M.S.; «Software Package for Two-Dimensional Process and Device Simulation - MICROTEC-3.02. User's Manual»; Siborg, Waterloo, Can., 1998.
Рецензия
Для цитирования:
Черкаев А.С., Калинин С.В., Макаров Е.А. Комбинированная методика двумерного моделирования технологии и электрофизических параметров МОП-транзисторов. Вестник СибГУТИ. 2008;(2):14-17.
Просмотров: 1
Послать статью по эл. почте 