Комбинированная методика двумерного моделирования технологии и электрофизических параметров МОП-транзисторов
Abstract
В данной работе была предложена новая комбинированная методика калибровки параметров двумерных технологических и электрофизических моделей пакета приборнотехнологического моделирования «MicroTec-3.02». Такая калибровка осуществляется на основе высокоточных одномерных профилей легирования в канале и исток-стоках МОП-транзисторов, рассчитанных ППП «ФАКТ», и реально измеренных вольт-амперных характеристиках исследуемых приборов.
About the Authors
А. ЧеркаевRussian Federation
С. Калинин
СибГУТИ
Russian Federation
Russian Federation
Е. Макаров
НГТУ
Russian Federation
Russian Federation
References
1. МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов; Под ред. П. Антонетти, Д. Антониадиса, Р. Датто-на, У. Оулдхема; М.: Радио и связь, 1988 г
2. http://www.synopsys.com
3. ППП «ФАКТ» - РИ ЛАРС 01.02.08-00 ФГУП «НПП «Восток».
4. http://www.siborg.ca
5. Obrecht M.S.; «Software Package for Two-Dimensional Process and Device Simulation - MICROTEC-3.02. User's Manual»; Siborg, Waterloo, Can., 1998.
Review
For citations:
, , . The Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Information Science. 2008;(2):14-17. (In Russ.)
Views:
363
Email this article 