Preview

The Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Information Science

Advanced search

ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ: СТРАТЕГИЯ УСПЕХА - АВТОМАТИЗАЦИЯ

About the Authors

И. Клисторин
Институт автоматики и электрометрии СО РАН
Russian Federation


В. Зюбин
Институт автоматики и электрометрии СО РАН
Russian Federation


А. Лубков
Институт автоматики и электрометрии СО РАН
Russian Federation


References

1. Зюбин В.Е. Создание управляющих алгоритмов для сложных технологических процессов // Автоматизация и современные технологии, 2004, №8. С.27-31

2. Лодиз Р., Паркер Р. Рост монокристаллов. М.: Мир, 1974.

3. Зюбин В. Е., Клисторин И. Ф., Лубков А. А. Архитектура системы управления установкой для выращивания монокристаллов кремния // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия «Технические науки». № 33. 2005. С.43-47.

4. Бевзов А.Н., Курочкин А.В., Окунишников С.В. Программное обеспечение оператора установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 27-29.

5. Бевзов А.Н. Применение паттернов проектирования при создании автоматизированной установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 22-24.

6. Язык Рефлекс. Информационный портал // Reflex group, 2006 [http://reflexlanguage. narod.ru]


Review

For citations:


 ,  ,   . The Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Information Science. 2007;(1):35-39. (In Russ.)

Views: 348


Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1998-6920 (Print)