ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ: СТРАТЕГИЯ УСПЕХА - АВТОМАТИЗАЦИЯ
About the Authors
И. КлисторинRussian Federation
В. Зюбин
Russian Federation
А. Лубков
Russian Federation
References
1. Зюбин В.Е. Создание управляющих алгоритмов для сложных технологических процессов // Автоматизация и современные технологии, 2004, №8. С.27-31
2. Лодиз Р., Паркер Р. Рост монокристаллов. М.: Мир, 1974.
3. Зюбин В. Е., Клисторин И. Ф., Лубков А. А. Архитектура системы управления установкой для выращивания монокристаллов кремния // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия «Технические науки». № 33. 2005. С.43-47.
4. Бевзов А.Н., Курочкин А.В., Окунишников С.В. Программное обеспечение оператора установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 27-29.
5. Бевзов А.Н. Применение паттернов проектирования при создании автоматизированной установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 22-24.
6. Язык Рефлекс. Информационный портал // Reflex group, 2006 [http://reflexlanguage. narod.ru]
Review
For citations:
, , . The Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Information Science. 2007;(1):35-39. (In Russ.)