ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ: СТРАТЕГИЯ УСПЕХА - АВТОМАТИЗАЦИЯ
Об авторах
И. Ф. КлисторинРоссия
В. Е. Зюбин
Россия
А. А. Лубков
Россия
Список литературы
1. Зюбин В.Е. Создание управляющих алгоритмов для сложных технологических процессов // Автоматизация и современные технологии, 2004, №8. С.27-31
2. Лодиз Р., Паркер Р. Рост монокристаллов. М.: Мир, 1974.
3. Зюбин В. Е., Клисторин И. Ф., Лубков А. А. Архитектура системы управления установкой для выращивания монокристаллов кремния // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия «Технические науки». № 33. 2005. С.43-47.
4. Бевзов А.Н., Курочкин А.В., Окунишников С.В. Программное обеспечение оператора установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 27-29.
5. Бевзов А.Н. Применение паттернов проектирования при создании автоматизированной установки по выращиванию монокристаллов кремния // Датчики и системы, 2004, № 12, С. 22-24.
6. Язык Рефлекс. Информационный портал // Reflex group, 2006 [http://reflexlanguage. narod.ru]
Рецензия
Для цитирования:
Клисторин И.Ф., Зюбин В.Е., Лубков А.А. ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ: СТРАТЕГИЯ УСПЕХА - АВТОМАТИЗАЦИЯ. Вестник СибГУТИ. 2007;(1):35-39.