Для цитирования:
Перов Г.В., Сединин В.И. Расчёт электрических полей в ультратонких диэлектриках с неоднородной границей в среде TCAD Sentaurus. Вестник СибГУТИ. 2011;(4):64-71.
For citation:
Perov G.V., Sedinin V.I. Calculation of Electric Fields in Ultra-Thin Dielectrics with Heterogeneous Border in Sentaurus TCAD Environment. The Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Information Science. 2011;(4):64-71. (In Russ.)