Мембранный микронасос как основной элемент микрофлюидных устройств
Аннотация
В статье представлен краткий обзор структур мембранных микронасосов. Обсуждаются различные актюаторы, их достоинства и недостатки. Рассмотрены разные типы микроклапанов, используемых в мембранных микронасосах, их структура и принцип действия.
Список литературы
1. Waseem A. M., Shahzadi T., Asim N., Nitin A. MEMS based system for drug delivery // 6th International Conference on Emerging Technologies. Islamabad, Pakistan, 2010. P. 82-87.
2. Nisar A., Afzulpurkar N., Mahaisavariya B., Tuantranont A. MEMS-based micropumps in drug delivery and biomedical applications // Sensors and Actuators B. 130. 2008. P. 917-942.
3. Xue-feng H., Sheng-ji L., Guan-qing W., Dan L., Yan L., Ning D., Jiang-rong X. Micropump application for micro power systems: A review // IEEE Asia-Pacific Power and Energy Engineering Conference (APPEEC). Wuhan, China, 2011. P. 1-4.
4. Левицкий А. А., Левицкая З. В., Ситников А. М. Компоненты микросистемной техники. Лабораторный практикум. Учебное пособие. СФУ, Красноярск. 2007. 85 с.
5. Linnemann R., Woias P., Senfft C.-D., Ditterich J. A. A self-priming and bubble-tolerant piezoelectric silicon micropump for liquids and gases // in: Proceedings of the MEMS98. Heidelberg, Germany, 1998. P. 532-537.
6. Machauf A., Nemirovsky Y., Dinnar U. A membrane micropump electrostatically actuated across the working fluid // J. Micromech. Microeng. 15. 2005. P. 2309-2316.
7. Jeong O. C., Yang S. S. Fabrication and test of a thermopneumatic micropump with a corrugated p+ diaphragm // Sens. Actuators A: Phys. 83. 2000. P. 249-255.
8. Gong Q., Zhou Z., Yang Y., Wang, Design X. Design, optimization and simulation on microelectromagnetic pump // Sens. Actuators A: Phys. 83. 2000. P. 200-207.
9. Zou J. X., Ye Y. Z., Zhou Y., Yang Y. A novel thermally actuated silicon micropump // in: Proceedings of the 1997 International Symposium on Micromechatronics and Human Science. 1997. P. 231-234.
10. Xu D., Wang L., Ding G., Zhou Y., Yu A., Cai B. Characteristics and fabrication of NiTi/Si diaphragm micropump // Sens. Actuators A: Phys. 93. 2001. P. 87-92.
11. Guo S., Fukuda T. Development of the micropump using ICPF actuator // in: Proceedings of IEEE International Conference on Robotics and Automation. 1. 1997. P. 266-271.
12. Jang L.-S., Li Y.-J., Lin S.-J., Hsu Y.-C., Yao W.-S., Tsai M.-C., Hou C.-C. A stand-alone peristaltic micropump based on piezoelectric actuation // Biomed Microdevices 9. 2007. P. 185-194.
13. Zengerle R., Richter A., Sandmaier H. A micro membrane pump with electrostatic actuation // IEEE Micro Electro Mechanical Systems. Travemunde, Germany, 1992. P. 19-24.
14. Matsumoto S., Maeda R., Klein A. Characterization of a valveless micropump based on liquid viscosity // Microscale Thermophysical Engineering 3(1). 1999. P. 31-42.
15. Olsson A., Stemme G., Stemme E. Numerical and experimental studies of flat-walled diffuser elements for valve-less micropump // Sensors and Actuators A. 84. 2000. P. 165-175.
16. Gamboa A. R., Morris C. J., Forster F. K. Improvements in fixedvalve micropump performance through shape optimization of valves // Journal of Fluids Engineering. 127. 2005. P. 339-346.
Рецензия
Для цитирования:
Палагин М.С. Мембранный микронасос как основной элемент микрофлюидных устройств. Вестник СибГУТИ. 2017;(2):77-86.
For citation:
Palagin M... Membrane micropumps in MEMS technology. The Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Information Science. 2017;(2):77-86. (In Russ.)
Просмотров:
791
Послать статью по эл. почте 