Для цитирования:

Палагин М.С. Мембранный микронасос как основной элемент микрофлюидных устройств. Вестник СибГУТИ. 2017;(2):77-86.

For citation:

Palagin M... Membrane micropumps in MEMS technology. The Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Information Science. 2017;(2):77-86. (In Russ.)