Для цитирования:

Ерофеев Е.В., Федин И.В., Казимиров А.И. Исследование электрофизических параметров тонких плёнок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления. Вестник СибГУТИ. 2015;(3):29-34.

For citation:

Erofeev E.V., Fedin I.V., Kazimirov A.I. Investigation of electrical properties of TiN thin films obtained by DC magnetron sputtering. The Herald of the Siberian State University of Telecommunications and Informatics. 2015;(3):29-34. (In Russ.)